實(shí)時膜厚檢測儀

簡要描述：產(chǎn)地類別進(jìn)口應(yīng)用領(lǐng)域建材,電子,汽車,電氣實(shí)時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

產(chǎn)品型號：DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2023-07-27
訪問量：889

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

相關(guān)文章

詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌

概要

實(shí)時的干涉測量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長度時，使用干涉測量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時監(jiān)測的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測?；谶@個相對簡單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。

特征

監(jiān)測透明薄膜的厚度和高度，如GaN,ALGaN,SiO₂ 和SiN。
適用于等離子體頻譜分析。
生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
終點(diǎn)檢測法的靈活應(yīng)用。
*的加工特點(diǎn)。

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：DS-50系列電導(dǎo)率計(jì)（臺式）
下一篇：EV-140C等離子發(fā)光分析終點(diǎn)檢測儀

實(shí)時膜厚檢測儀

概要

特征

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：